SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Effects of electron beam lithography process parameters on structure of silicon optical waveguide based on SOI
绝缘体上的硅
电子束光刻
材料科学
薄脆饼
平版印刷术
硅
阴极射线
光学
波导管
基质（水族馆）
光电子学
表面粗糙度
X射线光刻
表面光洁度
抵抗
电子
纳米技术
复合材料
物理
图层（电子）
地质学
海洋学
量子力学
作者
Yu Zheng,
Piaopiao Gao,
Xin Tang,
Jian-zhe Liu,
Ji’an Duan
出处
期刊：
Journal of Central South University
[Springer Nature]
日期：2022-10-01
卷期号：29 (10): 3335-3345
被引量：5
标识
DOI：10.1007/s11771-022-5152-0
求助该文献
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
2024年影响因子查询已上线
(2024-6-20)
更新
大幅提高文件上传限制，最高150M
(2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
落后语山
完成签到，获得积分
10
1秒前
盼盼小面包
完成签到，获得积分
10
1秒前
健壮小懒猪
关闭了
健壮小懒猪
的
文献求助
5秒前
故笺
完成签到，获得积分
10
6秒前
互助遵法尚德
上传了
应助文件
7秒前
小蘑菇
的
应助
被
可爱的芷云
采纳，获得
10
7秒前
脑洞疼
上传了
应助文件
7秒前
小白
完成签到，获得积分
10
8秒前
紫菜
完成签到，获得积分
10
9秒前
大个
的
应助
被
全瑜
采纳，获得
10
11秒前
在水一方
的
应助
被
呼同学
采纳，获得
10
11秒前
Lucas
上传了
应助文件
11秒前
顺心的水之
发布了新的
文献求助
10
12秒前
852
的
应助
被
爱听歌的冷风
采纳，获得
10
12秒前
一定accept
发布了新的
文献求助
10
14秒前
打打
的
应助
被
陈M雯
采纳，获得
10
15秒前
定西
发布了新的
文献求助
10
16秒前
9377
发布了新的
文献求助
30
16秒前
拼搏诗筠
发布了新的
文献求助
10
17秒前
研友_VZG7GZ
的
应助
被
gwenjing
采纳，获得
10
17秒前
沉默
完成签到，获得积分
10
18秒前
烂漫的汲
完成签到，获得积分
10
18秒前
我是老大
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
20秒前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
20秒前
共享精神
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
20秒前
深情安青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
20秒前
cpt
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
20秒前
华仔
的
应助
被
slokni
采纳，获得
10
22秒前
不争馒头争口气
完成签到，获得积分
10
24秒前
Hello
上传了
应助文件
25秒前
打打
上传了
应助文件
26秒前
健壮小懒猪
关闭了
健壮小懒猪
的
文献求助
27秒前
搜集达人
上传了
应助文件
29秒前
小小林柒染
发布了新的
文献求助
10
30秒前
JamesPei
的
应助
被
拼搏诗筠
采纳，获得
10
31秒前
852
上传了
应助文件
31秒前
科研通AI2S
上传了
应助文件
31秒前
AOPs
完成签到，获得积分
10
32秒前
陈M雯
发布了新的
文献求助
10
32秒前
大个
上传了
应助文件
33秒前
高分求助中
Evolution 3rd edition
1500
Lire en communiste
1000
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger
700
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger
700
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi
500
2-Acetyl-1-pyrroline: an important aroma component of cooked rice
500
Ribozymes and aptamers in the RNA world, and in synthetic biology
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
医学
生物
材料科学
工程类
有机化学
生物化学
物理
内科学
纳米技术
计算机科学
化学工程
复合材料
基因
遗传学
催化作用
物理化学
免疫学
量子力学
细胞生物学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
3180770
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
2830996
关于积分的说明
7982474
捐赠科研通
2492854
什么是DOI，文献DOI怎么找？
1329874
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明
635802
版权声明
602954
今日热心研友
爱静静
134
1240
嗯哼
39
730
朝阳区李知恩
25
825
彭于彦祖
28
770
寻道图强
27
680
cannon8
46
470
现代青枫
51
350
Wk
43
320
Jenny
700
Leonardi
600
iNk
21
370
tuanheqi
570
不配.
540
面向杂志编论文
52
Yziii
20
300
于芋菊
500
8R60d8
470
从容芮
440
自由可乐
15
270
坚强的严青
370
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
爱静静
嗯哼
朝阳区李知恩
彭于彦祖
寻道图强
cannon8
现代青枫
Wk
Jenny
Leonardi
iNk
tuanheqi
不配.
面向杂志编论文
Yziii
于芋菊
8R60d8
从容芮
自由可乐
坚强的严青
皖公网安备34019202002308
