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Backside Power Delivery With Relaxed Overlay for Backside Patterning Using Extreme Wafer Thinning and Molybdenum-Filled Slit Nano Through Silicon Vias

薄脆饼 材料科学 硅 覆盖 光电子学 纳米- 蚀刻（微加工） 狭缝 钼 纳米技术 光学 复合材料 计算机科学 物理 图层（电子） 冶金 程序设计语言
作者
Peng Zhao,Liesbeth Witters,Anne Jourdain,Michele Stucchi,N. Jourdan,Jan Willem Maes,H. Bana,C. Zhu,Rami Chukka,Farid Sebaai,K. Vandersmissen,N. Heylen,D. Montero,S. Wang,K. D’havé,Filip Schleicher,Joeri De Vos,Gerald Beyer,Andy Miller,Eric Beyne
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-7
标识
DOI：10.1109/ted.2024.3487080
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