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Effect of DL-alanine as an auxiliary complexing agent in TSV copper film CMP

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作者

Shuai Wang,Ru Wang,Bin Liu,Yanwei Dong,Tao Zheng,Yunhui Shi

出处

期刊：Journal of Materials Research [Springer Nature]
日期：2023-05-24 卷期号：38 (12): 3172-3186 被引量：1

标识

DOI：10.1557/s43578-023-01042-5

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