悬臂梁
微电子机械系统
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病理
替代医学
出处
期刊：International journal of engineering research and technology
[ESRSA Publications Pvt. Ltd.]
日期：2020-07-17
卷期号：V9 (07)
被引量：4
标识
DOI：10.17577/ijertv9is070262
摘要
Design and Fabrication of Cantilever MEMS Sensor Model for Electro-Chemical Gas Sensor - written by Guruprasad B , Shwetha M. S published on 2020/07/17 download full article with reference data and citations
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