蒸发
电子束物理气相沉积
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作者
Özlem Duyar,Frank Placido,H.Z. Durusoy
标识
DOI:10.1364/oic.2007.tuepdp1
摘要
We report the development of TiO2 films by reactive electron beam evaporation, using a recently introduced Ti3O5 material as the starting material. The processing window to prepare high quality stoichiometric TiO2 was found quite narrow.
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