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Model on transport phenomena and epitaxial growth of silicon thin film in SiHCl3H2 system under atmospheric pressure

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作者
Hitoshi Habuka,Takatoshi Nagoya,Masanori Mayusumi,Masatake Katayama,Manabu Shimada,Kikuo Okuyama
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：1996-11-01 卷期号：169 (1): 61-72 被引量：94
标识
DOI：10.1016/0022-0248(96)00376-4
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