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极紫外光刻
计算机科学
材料科学
光电子学
作者
D. D. Korobko,
T.V. Chernoizyumskaya,
V. Yu. Sergeev,
I.A. Sharov,
V.G. Kapralov,
P.A. Karasev,
P. S. Butorin,
S. G. Kalmykov,
M. É. Sasin
标识
DOI：10.34854/icpaf.51.2024.1.1.175
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