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生物
作者
Zhongrong Shen,Takashi Masuda,Hideyuki Takagishi,Keisuke Ohdaira,Tatsuya Shimoda
摘要
Cyclopentasilane converts into amorphous silicon film between two parallel substrates under atmospheric pressure by thermal decomposition at 350–400 °C, which combines the advantages of high throughput with cost reduction and high quality film formation.
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