Synthesis of large monolayer single crystal MoS2 nanosheets with uniform size through a double-tube technology

单层 材料科学 粒度 化学气相沉积 Crystal(编程语言) 管(容器) 基质(水族馆) 垂直的 纳米技术 单晶 石英 结晶学 复合材料 化学 计算机科学 海洋学 地质学 数学 程序设计语言 几何学
作者
Zhiyun Tu,Gaoda Li,Xia Ni,Leixin Meng,Suo Bai,Xiaobo Chen,Junjie Lou,Yong Qin
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:109 (22) 被引量:32
标识
DOI:10.1063/1.4968582
摘要

Two-dimensional MoS2 attracts much attention because of its potential application in electronic and optoelectronic devices at present. However, the preparation of large and uniform single crystal MoS2 nanosheets is still a challenge, which restricts its further application. Herein, monolayer single crystal MoS2 nanosheets with large and uniform grain size have been synthesized by chemical vapor deposition using a double-tube system. Within the main growth area, the grain size reaches 146 μm on the substrate of SiO2/Si, and the portion of MoS2 nanosheets with grain size between 50 μm and 100 μm is up to 78%. Meanwhile, the grain size keeps constant in the direction perpendicular to the tubes and changes slightly in the parallel direction. This is attributed to the concentration distribution of intermediate product MoO3−x in the one-side sealed inner tube set in a quartz tube, i.e., the double-tube system, which provides a way to the controllable and uniform synthesis of large monolayer single crystal MoS2 nanosheets.
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