Optical Properties of Al–Si–N Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering on Steel 12H18N10T and Zirconium Alloy E110

材料科学 合金 溅射沉积 溅射 冶金 腔磁控管 光电子学 薄膜 纳米技术
作者
Ф. В. Конусов,S. K. Pavlov,Egor Smolyanskiy,V. A. Tarbokov,Г. Е. Ремнев,A. V. Kabushev,R. M. Gadirov
出处
期刊:Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Springer Nature]
卷期号:17 (S1): S136-S145
标识
DOI:10.1134/s1027451023070248

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