Water Dose influence to the ALD hafnium oxide process: Simulation and experiment

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作者
Sergey V. Bulyarskiy,П. Е. Львов,Kristina I. Litvinova,Vitaliy Sergeevich Polomskikh,G. A. Rudakov
出处
期刊:Materials today communications [Elsevier]
卷期号:39: 108622-108622 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.mtcomm.2024.108622

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