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Depth profile analysis of chemically amplified resist by using TOF-SIMS with gradient shaving preparations
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作者
Naoki Man,
Haruki Okumura,
Hiroaki Oizumi,
Naoto Nagai,
Hirofumi Seki,
Iwao Nishiyama
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier]
日期：2004-05-30
卷期号：231-232: 353-356
被引量：24
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2004.03.093
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