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Silicon Microring Modulator with Integrated Heater and Temperature Sensor for Thermal Control
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作者
Christopher T. DeRose,
Michael R. Watts,
Douglas C. Trotter,
David L. Luck,
Gregory N. Nielson,
Ralph W. Young
出处
期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics
日期：2010-01-01
卷期号：17: CThJ3-CThJ3
被引量：67
链接
osti.gov
doi.org
标识
DOI：10.1364/cleo.2010.cthj3
摘要
The first demonstration of a silicon microring modulator with both an integrated resistive heater and diode-based temperature sensor is shown. The temperature-sensor exhibits a linear response for more than an 85 °C external temperature range.
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