Physical properties of RF sputtered ITO thin films and annealing effect

退火(玻璃) 材料科学 粒度 扫描电子显微镜 晶格常数 薄膜 电阻率和电导率 表面粗糙度 带隙 衍射 分析化学(期刊) 极限抗拉强度 表面光洁度 复合材料 纳米技术 光学 光电子学 化学 物理 电气工程 工程类 色谱法
作者
L. Kerkache,A. Layadi,El Hadj Dogheche,Denis Rémiens
出处
期刊:Journal of Physics D [Institute of Physics]
卷期号:39 (1): 184-189 被引量:138
标识
DOI:10.1088/0022-3727/39/1/027
摘要

The structural, electrical and optical properties of RF sputtered In2O3 : Sn (ITO) thin films and the effect of post-deposition annealing have been studied. The thickness ranges from 225 to 862 nm. X-ray diffraction, scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) experiments were performed to study the structure and the surface morphology of these samples. We found that thinner films have a ⟨100⟩ texture and as the film grows the preferred orientation changes from ⟨100⟩ to ⟨111⟩. The lattice parameters are found to be larger than the bulk value, indicating that the samples are under a tensile stress. The grain size increases with increasing thickness. SEM images show a dense granular structure with grains having different shapes and sizes. From AFM images, the average surface roughness (rms) was estimated to be 3.89 nm. The energy gap was found to decrease from 3.65 to 3.50 eV as t increases from 225 to 866 nm. Annealing experiments were done, in the air, at temperature T in the 100–500 °C range. We found that the ⟨111⟩ texture becomes stronger after the annealing treatment. A large increase of the grain size with increasing T is observed. The lattice constant decreases with T to become closer to the bulk value, i.e. annealing seems to relieve the stress present in the as-deposited films; T = 400 °C seems to be the best temperature to obtain practically a stress free sample. We observe a large decrease in the electrical resistivity ρ after annealing. The lowest ρ value (16 × 10−4 Ω cm) was noted in the 699 nm thick sample annealed at 500 °C. The decrease of ρ seems to be the consequence of a larger grain size and a stronger ⟨111⟩ texture.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
wenbin完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
2秒前
rgjipeng完成签到,获得积分10
3秒前
轻松绿旋完成签到,获得积分10
3秒前
4秒前
优雅山柏发布了新的文献求助10
4秒前
lxhhh完成签到,获得积分10
5秒前
火星上的雨莲完成签到,获得积分10
7秒前
CHANG完成签到 ,获得积分10
7秒前
严西完成签到,获得积分10
8秒前
小柚子完成签到,获得积分10
8秒前
萌萌完成签到 ,获得积分10
9秒前
Ryan完成签到,获得积分10
10秒前
11秒前
一条摆摆的沙丁鱼完成签到 ,获得积分10
11秒前
apocalypse完成签到 ,获得积分10
12秒前
djbj2022发布了新的文献求助10
14秒前
grace完成签到 ,获得积分10
15秒前
zpz完成签到,获得积分10
19秒前
墨墨完成签到 ,获得积分10
20秒前
CipherSage应助氮化硼小兵采纳,获得10
20秒前
Jieh完成签到,获得积分10
20秒前
科研孙完成签到,获得积分10
20秒前
小党完成签到,获得积分10
24秒前
优雅山柏完成签到,获得积分10
28秒前
xiaofenzi完成签到,获得积分10
30秒前
DOUBLE完成签到,获得积分10
31秒前
马超放烟花完成签到 ,获得积分10
31秒前
tivyg'lk完成签到,获得积分10
32秒前
Loong完成签到,获得积分10
32秒前
养花低手完成签到 ,获得积分10
33秒前
33秒前
yoyo完成签到,获得积分10
34秒前
在九月完成签到 ,获得积分10
40秒前
xudongmei完成签到,获得积分10
40秒前
小鱼儿完成签到 ,获得积分10
40秒前
完犊子完成签到,获得积分20
40秒前
背后的白山完成签到,获得积分10
41秒前
rudjs完成签到,获得积分10
42秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
Immigrant Incorporation in East Asian Democracies 600
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3968578
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3513393
关于积分的说明 11167478
捐赠科研通 3248836
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1794499
邀请新用户注册赠送积分活动 875131
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804664