Deep n-well dtscr with fast turn-on speed for low-voltage esd protection applications

转身(生物化学) 电压 低压 电气工程 静电放电 材料科学 工程类 物理 核磁共振
作者
Boyang Ma,Shupeng Chen,Ruibo Chen,Hongxia Liu,Shulong Wang,Han Zhiming
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier]
卷期号:160: 115475-115475
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2024.115475
摘要

In this article, a novel low trigger and fast turn on electrostatic discharge (ESD) protection device, called deep N-well diode-triggered silicon-controlled-rectifier (DNWTSCR), is proposed for 1.8 V I/O protection applications in the advanced 40-nm CMOS technology. By incorporating a deep N-well parasitic diode path into the conventional DTSCR, the triggering diodes-string gets prolonged and possesses higher impedance without area penalty. Owing to this, more current will branch to the inherent SCR during the operation, and consequently the DNWTSCR will present improved turn-on characteristics. The ESD characteristics of the proposed DNWTSCR and the conventional DTSCR were evaluated by Transmission Line Pulse (TLP) and Very Fast TLP (VFTLP). As results, the DNWTSCR presents a low trigger voltage of 3.4 V and an extremely fast turn-on time of 0.85 ns, which are 41 % and 51 % lower than the conventional DTSCR, respectively. Moreover, the TCAD simulation results agree well with the transmission line pulse testing results, further confirming that the proposed DNWTSCR can be widely used as an effective ESD protection device for high-speed ICs. • The proposed DNWTSCR is a novel low trigger and fast turn on electrostatic discharge protection device for 1.8 V I/O protection applications. • By incorporating a deep N-well parasitic diode path into the conventional DTSCR, the triggering diodes-string gets prolonged and possesses higher impedance without area penalty. • The DNWTSCR presents a low trigger voltage of 3.4 V and an extremely fast turn-on time of 0.85 ns. • The DNWTSCR is suitable for ESD protection of high-speed ICs, without the limitation of additional layout area and technology process.
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