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Design and Analysis of a Flexure-Based Parallel XY Stage Driven by Differential Piezo Forces

差速器（机械装置）阶段（地层学）机械工程工程类材料科学结构工程计算机科学航空航天工程地质学古生物学

作者

Kee-Bong Choi,Jaejong Lee,Geehong Kim,Hyungjun Lim,Soongeun Kwon,Sangchul Lee

出处

期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Science+Business Media]
日期：2020-05-20 卷期号：21 (8): 1547-1561 被引量：11

标识

DOI：10.1007/s12541-020-00358-0

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