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Correlation of failure mechanism of constant-current-stress and constant-voltage-stress breakdowns in ultrathin gate oxides of nMOSFETs by TEM

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作者
K. L. Pey,Ching‐Hsuan Tung,M. Radhakrishnan,Lei Tang,Yuankun Sun,X.D. Wang,W. Lin
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier]
卷期号:43 (9-11): 1471-1476 被引量:24
标识
DOI:10.1016/s0026-2714(03)00261-0
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