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Warpage Analysis of Multilayer Thin Film/Substrate Systems Using the Eigenstrain Method

本征应变 材料科学 基质（水族馆） 复合材料 薄膜 纳米技术 地质学 残余应力 海洋学
作者
Zaoxu Zhang,Xueying Zhao,Kechen Zhao,Qingxiang Ji,Changguo Wang
出处
期刊：Thin-walled Structures [Elsevier]
日期：2024-10-01 卷期号：: 112528-112528
标识
DOI：10.1016/j.tws.2024.112528
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