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Impact of PECVD SiON stoichiometry and post-annealing on the silicon surface passivation

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作者

J. Dupuis,Erwann Fourmond,J.‐F. Lelièvre,D. Ballutaud,M. Lemiti

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2007-12-12 卷期号：516 (20): 6954-6958 被引量：60

链接

hal.science hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2007.12.026

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