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Fabrication and characterization of PZT thin-film vibrators for micromotors

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作者
Paul Muralt,Markus Köhli,Thomas Maeder,Andréi L. Kholkin,Keith G. Brooks,N. Setter,R. Luthier
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：1995-05-01 卷期号：48 (2): 157-165 被引量：182
链接
epfl.ch epfl.ch epfl.chdoi.org
标识
DOI：10.1016/0924-4247(95)00994-9
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