High-frequency dynamic compensation for contact scanning probe based on dual-parameter feedback optimization of pole configuration

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作者
Weikang Zheng,Guoqing Zhang,Junchi Liu,Boxing Qian,Xiufang Yang,Wei Shao,Zhigang Liu
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:24 (18): 28641-28651
标识
DOI:10.1109/jsen.2024.3432902

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