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Integrated package and calibration of high-g MEMS ASIC acceleration sensor

专用集成电路 校准 微电子机械系统 加速度 计算机科学 工程类 嵌入式系统 材料科学 物理 光电子学 经典力学 量子力学
作者
Yunbo Shi,Yuntian Qu,Rui Zhao,Yuting Wang,Cui Guo,Huiliang Cao,Jun Tang
出处
期刊：Measurement [Elsevier]
日期：2024-08-18 卷期号：240: 115510-115510
标识
DOI：10.1016/j.measurement.2024.115510
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