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Recrystallization kinetics of fully amorphized C3H5-molecular-ion-implanted silicon substrate surface

材料科学 再结晶（地质） 动力学 硅 离子 基质（水族馆） 离子注入 光电子学 古生物学 海洋学 物理 量子力学 生物 地质学
作者
K. Kobayashi,Ryosuke Okuyama,Takeshi Kadono,Ayumi Onaka‐Masada,Ryo Hirose,Akihiro Suzuki,Sho Nagatomo,Yoshihiro Koga,Koji Sueoka,Kazunari Kurita
出处
期刊：MRS Advances [Springer Nature]
日期：2025-01-03
标识
DOI：10.1557/s43580-024-01073-y
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