Sensitivity enhancement and temperature compatibility of graphene piezoresistive MEMS pressure sensor

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作者
Meetu Nag,Jaideep Singh,Ajay Kumar,P. A. Alvi,Kulwant Singh
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:25 (10): 3977-3982 被引量:29
标识
DOI:10.1007/s00542-019-04392-5
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