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Preparation of n-type β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Film with High Thickness by MOCVD
材料科学
金属有机气相外延
作者
Zheng-da LI,
Teng JIAO,
Xin DONG,
Zhao-ti DIAO,
Wei CHEN
出处
期刊:
Chinese Journal of Luminescence
[Science Press]
日期:2022-01-01
卷期号:43 (4): 545-551
标识
DOI:10.37188/cjl.20210398
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