Effect of multiply excited states to the EUV emission from yttrium-like tin

极紫外光刻 激发态 原子物理学 极端紫外线 发射光谱 离子 电离 波长 人口 化学 材料科学 谱线 物理 光电子学 光学 人口学 有机化学 社会学 激光器 氧化物 天文
作者
Akira Sasaki
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:124 (6) 被引量:1
标识
DOI:10.1063/5.0187576
摘要

The spectral emission rate of yttrium-like tin (Sn11+) is investigated as the typical ion, which has a strong emission of extreme ultra-violet (EUV) light near the wavelength of 13.5 nm. The energy level structure of the tin ion is investigated using the non-relativesitic configuration average model to calculate the population in the local thermodynamic equilibrium, and the spectral structure of the unresolved transition array that has EUV emission is investigated based on the calculated atomic data using the HULLAC code. It is shown that the broad main peak is accompanied by the tail structure for shorter and longer wavelengths, which arises from multiply and inner-shell excited levels. The emission channels that significantly contribute to the spectrum are determined from a convergence analysis. The excited states below the ionization limit with a large population are shown to have a significant contribution to the emission.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
爆米花应助杨江华采纳,获得30
1秒前
心内小白发布了新的文献求助10
1秒前
乐乐应助凌柏采纳,获得10
3秒前
搜集达人应助单薄凝冬采纳,获得10
3秒前
章文荣完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
提速狗发布了新的文献求助10
6秒前
蝶步韶华发布了新的文献求助50
7秒前
9秒前
漫天飞雪_寒江孤影完成签到,获得积分10
9秒前
9秒前
zln完成签到,获得积分10
9秒前
yinanan完成签到 ,获得积分10
10秒前
灵巧的坤发布了新的文献求助10
10秒前
地法国发布了新的文献求助10
11秒前
无花果应助tjxhk采纳,获得10
11秒前
失眠的流沙完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
syxz0628发布了新的文献求助10
15秒前
杨江华发布了新的文献求助30
17秒前
可爱的函函应助ccc采纳,获得10
18秒前
格子完成签到,获得积分10
19秒前
充电宝应助超帅水杯采纳,获得10
21秒前
大个应助1900加采纳,获得10
22秒前
沏碗麻花完成签到,获得积分10
22秒前
23秒前
23秒前
23秒前
灵巧的坤完成签到,获得积分10
25秒前
后蹄儿发布了新的文献求助10
25秒前
25秒前
Jasper应助balzacsun采纳,获得10
25秒前
25秒前
26秒前
tiptip应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
乐乐应助科研通管家采纳,获得30
27秒前
搜集达人应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
BowieHuang应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
27秒前
科研通AI6.2应助狐萝卜头采纳,获得10
27秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Molecular Biology of Cancer: Mechanisms, Targets, and Therapeutics 3000
Les Mantodea de guyane 2500
VASCULITIS(血管炎)Rheumatic Disease Clinics (Clinics Review Articles) —— 《风湿病临床》(临床综述文章) 1000
Feldspar inclusion dating of ceramics and burnt stones 1000
What is the Future of Psychotherapy in a Digital Age? 801
The Psychological Quest for Meaning 800
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5976914
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 7334851
关于积分的说明 16008655
捐赠科研通 5116327
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2746501
邀请新用户注册赠送积分活动 1714623
关于科研通互助平台的介绍 1623713