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Effect of rapid thermal annealing of sputtered aluminium nitride film in an oxygen ambient

材料科学 退火（玻璃） 薄膜 铝 氮化铝 氮化物 溅射沉积 分析化学（期刊） 溅射 复合材料 纳米技术 图层（电子） 色谱法 化学
作者
Kyungsoo Jang,Kwangsoo Lee,Junsik Kim,Sunghyun Hwang,Jeongin Lee,Suresh Kumar Dhungel,Sungwook Jung,Junsin Yi
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2006-12-01 卷期号：9 (6): 1137-1141 被引量：25
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2006.10.052
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