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Chemical interaction of NF3 ion beams and plasmas with Si (Part I): X-ray photoelectron spectroscopy studies

X射线光电子能谱 电负性 化学 离子 离子束 等离子体 硅 分析化学（期刊） 原子物理学 离子束沉积 电离 结合能 核磁共振 有机化学 物理 量子力学 色谱法
作者
Thomas W. Little,Fumio S. Ohuchi
出处
期刊：Surface Science [Elsevier]
日期：2000-01-01 卷期号：445 (2-3): 235-242 被引量：17
标识
DOI：10.1016/s0039-6028(99)01061-4
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