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Fabrication of high-density In2Ga2ZnO7 sputtering target with uniform microstructure

材料科学烧结微观结构电阻率和电导率分析化学（期刊）相（物质）挥发冶金溅射剩余电阻率铟镓复合材料纳米技术薄膜有机化学核物理学化学工程类物理电气工程色谱法

作者

Jiang‐An Liu,Chen‐Hui Li,Yang Zou,Liang Hu,Yusheng Shi

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2020-08-17 卷期号：121: 105342-105342 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2020.105342

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