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Calibrate the non-orthogonal error of AFM with two-dimensional self-traceable grating

纳米计量学 栅栏 校准 计量学 原子力显微镜 光学 纳米尺度 材料科学 观测误差 纳米技术 物理 数学 统计 量子力学
作者
Wen Tan,Zhaohui Tang,Guangxu Xiao,Yulin Yao,Lihua Lei,Qing Li,Tao Jin,Deng Xiao,Xinbin Cheng,Tongbao Li
出处
期刊：Ultramicroscopy [Elsevier]
日期：2023-04-05 卷期号：249: 113734-113734 被引量：4
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.ultramic.2023.113734
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