Optimization of Dual-electrode Ratio and Driving Phase of Piezoelectric MEMS Speakers for Improving Sound Pressure Level

微电子机械系统 对偶(语法数字) 声学 压电 电极 声压 相(物质) 材料科学 计算机科学 物理 光电子学 艺术 文学类 量子力学
作者
Ning Deng,Xudong Ma,Xinyu Ding,Qingcheng Zheng,Ke Cao,Hui Shang,Huikai Xie,Yao Lü
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:: 116109-116109
标识
DOI:10.1016/j.sna.2024.116109
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