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Model-Based OPC With Adaptive PID Control Through Reinforcement Learning

PID控制器强化学习钢筋计算机科学自适应控制控制（管理）工程类控制工程人工智能温度控制结构工程

作者

Taeyoung Kim,Shilong Zhang,Youngsoo Shin

出处

期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-1

标识

DOI：10.1109/tsm.2025.3528735

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