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Step flow growth of β-Ga2O3 films on off-axis 4H-SiC substrates by LPCVD

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作者
Jichao Hu,Bei Xu,Zihan Zhang,Xiaomin He,Lianbi Li,Hongjuan Cheng,Jian Wang,Jiaqi Meng,Xi Wang,Chao Zhang,Renxu Jia,Hongbin Pu
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2023-02-10 卷期号：37: 102732-102732 被引量：14
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2023.102732
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