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A linear air bearing stage with active magnetic preloads for ultraprecise straight motion

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作者
Seung-Kook Ro,Soohyun Kim,Yoon-Keun Kwak,Chun Hong Park
出处
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier]
日期：2009-07-22 卷期号：34 (1): 186-194 被引量：42
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2009.06.010
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