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Research progress on piezoelectric coefficient test methods for thin film piezoelectric materials

压电 压电系数 材料科学 PMUT公司 声学 复合材料 物理
作者
Ren Zhonghao,Shenjie Zhou
出处
期刊：Chuanganqi yu Wei Xitong 日期：2020-01-01 卷期号：39 (10): 1-4 被引量：1
链接
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