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A Stress-Dispersed MEMS Bionic Turbulence Sensor with Enhanced Reliability

微电子机械系统 可靠性（半导体） 压力（语言学） 湍流 材料科学 航空航天工程 机械工程 计算机科学 工程类 纳米技术 物理 机械 功率（物理） 语言学 哲学 量子力学
作者
Wenjun Zhang,Zengxing Zhang,Yanbo Xu,Bin Yao,Junmin Jing,Zhenyin Hai,Chenyang Xue,Zhong‐Qun Tian
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-09-25 卷期号：24 (22): 36477-36486
标识
DOI：10.1109/jsen.2024.3464508
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