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JMEMS Letters.1pt Equidimensional Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Array With Synchronously Improved Bandwidth and Sensitivity

压电 超声波传感器 传感器 带宽（计算） 灵敏度（控制系统） 声学 PMUT公司 材料科学 计算机科学 电子工程 工程类 物理 电信
作者
Xingli Xu,Yuewu Gong,Zhuochen Wang,Yike Ma,Chenyang Yu,Wei Wei,Pengfei Niu,Wei Pang
出处
期刊：Journal of microelectromechanical systems [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-3
标识
DOI：10.1109/jmems.2024.3425956
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