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A Novel Design of a MEMS Resonant Accelerometer with Adjustable Sensitivity

加速度计 微电子机械系统 灵敏度（控制系统） 电子工程 材料科学 工程类 声学 计算机科学 光电子学 物理 操作系统
作者
Yiqiu Zhang,Shiqiu Wang,Qiqi Yang,Yonghong Qi,Minghui Zhao,Xueyong Wei
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2024-09-01 卷期号：: 115859-115859
标识
DOI：10.1016/j.sna.2024.115859
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