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Investigation on the material removal mechanism of sapphire wafer by novel green slurry in semi-fixed abrasive polishing

磨料材料科学抛光泥浆薄脆饼冶金蓝宝石化学机械平面化机制（生物学）复合材料纳米技术光学激光器哲学物理认识论

作者

Guangen Zhao,Jianxiong Chen,Yongchao Xu,Cheng Peng,Qianting Wang

出处

期刊：Wear [Elsevier BV]
日期：2025-01-01 卷期号：: 205762-205762

标识

DOI：10.1016/j.wear.2025.205762

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