Laser dicing of semiconductor wafers: Research status and current challenges

晶片切割 薄脆饼 电流(流体) 材料科学 激光器 半导体 光电子学 工程物理 半导体激光器理论 计算机科学 光学 电气工程 工程类 物理
作者
He Cao,Yunfei Li,Gong Wang,Ziqi Tang,De-Rong Sun,Hongwei Yin,Yu Yu,Chengbin Shen,Yulei Wang,Zhiwei Lü
出处
期刊:Optics and Lasers in Engineering [Elsevier]
卷期号:186: 108786-108786
标识
DOI:10.1016/j.optlaseng.2024.108786
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