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The Influence of Capping Layer Type on Cobalt Salicide Formation in Films and Narrow Lines

材料科学 杀盐剂 硅化物 锡 薄板电阻 钴 图层（电子） 活化能 冶金 纳米技术 化学 有机化学
作者
Paul R. Besser,A. Lauwers,N. Roelandts,Karen Maex,Werner Blum,Roger Alvis,Michele Stucchi,M. de Potter
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：1998-01-01 卷期号：514 被引量：18
标识
DOI：10.1557/proc-514-375
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