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Surface potential imaging in oxide-nitride-oxide-silicon structure using a field effect transistor cantilever

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作者
Moon Suhk Suh,C.S. Lee,S.H. Kim,K.I. Lee,J.W. Cho,Young Kuk,J.K. Shin
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2007-01-14 卷期号：136 (2): 597-603 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.sna.2007.01.005
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