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Capacitive β-Ga2O3 solar-blind photodetector with graphene electrode

光电子学 光电探测器 材料科学 石墨烯 电容感应 带隙 电容 电极 光电二极管 透射率 电阻式触摸屏 半导体 光学 纳米技术 物理 电气工程 工程类 量子力学
作者
Ayeong Kim,Geonyeop Lee,Jihyun Kim
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Institute of Physics]
卷期号:39 (5) 被引量:3
标识
DOI:10.1116/6.0001217
摘要

Conventional solar-blind photodetectors based on the conduction of photoexcited carriers are energy inefficient owing to the power dissipation caused by a resistive sensing mechanism and the narrow bandgap energy of the photon-absorbing layer. Herein, we demonstrate the energy-efficient capacitive sensing of deep-UV wavelengths by integrating an intrinsically solar-blind ultrawide bandgap (UWBG) β-Ga2O3 semiconductor with UV-transparent and conductive graphene electrode. A UWBG β-Ga2O3 eliminates the requirement of a solar-blind deep-UV bandpass filter. The high optical transmittance of the graphene enables UV-C light to be absorbed in the underlying β-Ga2O3, thereby facilitating carrier transport between the graphene electrode and β-Ga2O3. A capacitance change under UV-C excitation is observed, along with excellent reproductivity and spectral selectivity at various frequencies and bias conditions; the sensing performance improves with an increase in frequency. The average power dissipation of the fabricated photodetector in the stand-by (dark) and active (UV-C illumination) modes is 37.7 and 53.3 μW, respectively. Overall, this work introduces a new strategy for developing next-generation compact and energy-efficient solar-blind photodetectors.
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