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作者
Georg Boehm,Heike Mueller,Thomas Arnold
标识
DOI:10.1364/freeform.2021.jtu3b.8
摘要
A freeform optics manufacturing chain completely based on atmospheric plasmajet processes will be presented, where freeform generation by high-rate etching is followed by plasmajet-assisted thermal polishing and a fine etching process for surface error correction.
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