Manufacturing of Freeform Optics completely based on Plasmajet Machining

抛光 机械加工 蚀刻(微加工) 材料科学 热的 自适应光学 光学 过程(计算) 机械工程 制造工艺 工程制图 计算机科学 工程类 物理 冶金 复合材料 气象学 操作系统 图层(电子)
作者
Georg Boehm,Heike Mueller,Thomas Arnold
标识
DOI:10.1364/freeform.2021.jtu3b.8
摘要

A freeform optics manufacturing chain completely based on atmospheric plasmajet processes will be presented, where freeform generation by high-rate etching is followed by plasmajet-assisted thermal polishing and a fine etching process for surface error correction.
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