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Spectroscopic ellipsometry and its applications in the study of thin film materials

椭圆偏振法材料科学薄膜光学纳米技术物理

作者

朱绪丹 ZHU Xu-dan,张荣君 Zhang Rongjun,郑玉祥 ZHENG Yu-xiang,王松有 WANG Song-you,陈良尧 Chen Liangyao

出处

期刊：Chinese Optics [Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences]
日期：2019-01-01 卷期号：12 (6): 1195-1234 被引量：18

标识

DOI：10.3788/co.20191206.1195

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