Atomic layer etching of GaN using Cl2 and He or Ar plasma

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作者
Simon Ruel,Patricia Pimenta‐Barros,Frédéric Le Roux,Nicolas Chauvet,Michel Massardier,Philippe Thoueille,Shirley Tan,Daniel D. Shin,François Gaucher,N. Possémé
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Institute of Physics]
卷期号:39 (2) 被引量:24
标识
DOI:10.1116/6.0000830
摘要

During the fabrication of a MOS-HEMT, the plasma-etching steps are critical because they can damage the GaN materials and lead to electrical degradation effects. In this paper, we propose to evaluate GaN etching performances through comparing the Cl2-based atomic layer etching (ALE) process with He or Ar as the sputtering gas. The self-limiting synergy and process window of ALE has been investigated. Based on these results, we propose the reasons for the nonself-limiting behavior of the He ALE process. Both ALE processes were compared to a steady-state process by investigating roughness, and electrical measurements, in order to evaluate the induced damage.
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