材料科学
电介质
泄漏(经济)
高-κ电介质
分析化学(期刊)
光电子学
有机化学
宏观经济学
经济
化学
作者
Bo-Eun Park,Il‐Kwon Oh,Jong Seo Park,Seunggi Seo,David Thompson,Hyungjun Kim
摘要
Ta doping into ZrO2 suppresses the oxygen vacancy formation and changes the crystal structure, leading to simultaneous improvement of dielectric constant and leakage currents.
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