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Simultaneous improvement of the dielectric constant and leakage currents of ZrO2 dielectrics by incorporating a highly valent Ta5+ element

材料科学 电介质 泄漏（经济） 高-κ电介质 分析化学（期刊） 光电子学 有机化学 宏观经济学 经济 化学
作者
Bo-Eun Park,Il‐Kwon Oh,Jong Seo Park,Seunggi Seo,David Thompson,Hyungjun Kim
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [The Royal Society of Chemistry]
日期：2018-01-01 卷期号：6 (36): 9794-9801 被引量：14
标识
DOI：10.1039/c8tc03640c
摘要
Ta doping into ZrO2 suppresses the oxygen vacancy formation and changes the crystal structure, leading to simultaneous improvement of dielectric constant and leakage currents.
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