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Development of the Third-generation Semiconductor Interconnect Materials and Progress of Low-temperature Sintering of Copper Nanoparticles

材料科学 烧结 铜 互连 半导体 纳米颗粒 冶金 纳米技术 工程物理 光电子学 计算机网络 计算机科学 工程类
作者
Xin Ke,Bingqing Xie,Zhong Wang,Jingguo ZHANG,Jianwei Wang,Zhanrong Li,Huijun He,Limin Wang
出处
期刊：Journal of Inorganic Materials [Shanghai Institute of Ceramics]
日期：2023-01-01 卷期号：: 345-345 被引量：2
链接
jim.org.cndoi.org
标识
DOI：10.15541/jim20230345
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