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Facile Fabrication Method for Broadband Al Wire Grid Polarizers Using Nanoimprint Lithography and Oblique Angle Deposition

材料科学 偏振器 纳米压印光刻 制作 斜格 宽带 沉积（地质） 平版印刷术 光电子学 光学 医学 生物 物理 双折射 沉积物 哲学 病理 古生物学 替代医学 语言学
作者
Wonyoung Kim,Sungmin Hwang,Tae Young Kim,Won Gyu Ham,Seoyoung Kim,Minbaek Lee,Chang Kwon Hwangbo
出处
期刊：Science of Advanced Materials [American Scientific Publishers]
日期：2018-01-30 卷期号：10 (5): 660-664 被引量：8
标识
DOI：10.1166/sam.2018.3142
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