Complementary use of atom probe tomography (APT) and differential hall effect metrology (DHEM) for activation loss in phosphorus-implanted polycrystalline silicon

晶界 材料科学 多晶硅 原子探针 退火(玻璃) 掺杂剂 霍尔效应 微晶 Atom(片上系统) 掺杂剂活化 分析化学(期刊) 结晶学 纳米技术 冶金 电阻率和电导率 兴奋剂 光电子学 化学 微观结构 环境化学 工程类 图层(电子) 计算机科学 电气工程 嵌入式系统 薄膜晶体管
作者
Kun‐Lin Lin,Fa-Yan Lee,Yi-Meng Chen,Yu-Jen Tseng,Hung‐Wei Yen
出处
期刊:Scripta Materialia [Elsevier BV]
卷期号:241: 115877-115877
标识
DOI:10.1016/j.scriptamat.2023.115877
摘要

The objectives of this study are to explore the activation ratios of implanted phosphorus dopants in polycrystalline silicon (poly-Si), and to reveal the role of grain boundary segregation in incomplete activation using atom probe tomography (APT) and differential Hall effect metrology (DHEM). After implantation and rapid thermal annealing, the results of APT revealed pronounced segregation toward grain boundaries that provides rapid diffusion paths for phosphorus. Peak concentrations of phosphorus segregations in the grain boundaries of the regrown and non-regrown regions were measured to be 4.38E21 and 2.17E21 atoms/cm³ that correspond to activation ratios of 6 % and 1 %, respectively. In contrast, phosphorus concentrations within grain interiors were found to be 6.86E20 and 1.72E19 atoms/cm³, corresponding to activation ratios of 39 % and nearly 100 % in the regrown and non-regrown regions, respectively. This research highlights a novel approach for evaluating site-specific activation ratios in poly-Si through the integrated use of DHEM and APT.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
拾壹完成签到,获得积分10
1秒前
雪花完成签到,获得积分10
3秒前
清风完成签到 ,获得积分10
3秒前
雪花发布了新的文献求助10
7秒前
秀丽笑容完成签到 ,获得积分10
11秒前
江湖应助聪慧芷巧采纳,获得10
12秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
13秒前
Rjy完成签到 ,获得积分10
19秒前
性感母蟑螂完成签到 ,获得积分10
25秒前
ruochenzu完成签到,获得积分10
27秒前
陈尹蓝完成签到 ,获得积分10
28秒前
天道酬勤完成签到,获得积分10
30秒前
32秒前
仁爱的谷南完成签到,获得积分10
32秒前
雯雯完成签到 ,获得积分10
34秒前
一路有你完成签到 ,获得积分10
34秒前
35秒前
ruochenzu发布了新的文献求助10
35秒前
37秒前
wanghao完成签到 ,获得积分10
38秒前
图图发布了新的文献求助10
38秒前
十三完成签到 ,获得积分10
38秒前
聪慧芷巧完成签到,获得积分10
39秒前
米博士完成签到,获得积分10
40秒前
研友_VZGVzn完成签到,获得积分10
41秒前
Cheung2121发布了新的文献求助30
42秒前
黄芩完成签到 ,获得积分10
43秒前
1分钟前
秋半梦完成签到,获得积分10
1分钟前
李爱国应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
搜集达人应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
打地鼠工人完成签到,获得积分10
1分钟前
彩色半烟完成签到,获得积分10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
Ning完成签到,获得积分10
1分钟前
图图完成签到,获得积分10
1分钟前
勤奋的灯完成签到 ,获得积分10
1分钟前
ludong_0完成签到,获得积分10
1分钟前
Asumita完成签到,获得积分10
1分钟前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038066
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3575779
关于积分的说明 11373801
捐赠科研通 3305584
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819239
邀请新用户注册赠送积分活动 892655
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815022